A02110204半导体器件参数测量仪

本项目计划购置2套系统，各自包含6工位手套箱，主要功能用以提供样品测试的环境氛围，水氧含量小于1ppm。采用法兰视窗结构，泄漏率低至0.001vol%/h；并包括超低温高精度半导体电学参量测试系统。 采购用途：在惰性气体气氛下用于新型先进纳米材料与器件的I/V测试、C-V测试和脉冲IV测试。 系统具备3个高精度源测量单元（SMU）单元，SMU可进行快速 IV-T 采样，采样率可达1.8M，存储量可达10万个点；半导体参数分析仪主机含嵌入式PC：操作系统至少要 Windows 7软件测试要求：提供样板测量例程；探针台，本项目拟采购1台探针台。主要功能：该探针台用于半导体器件的电学性能测试，主要应用于半导体行业以及光电行业的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。 本项目拟采购桌面式探针式轮廓仪1台采购用途：主要用于测试薄膜样品的厚度，透明不透明的都可以、从nm级别到um级别，薄膜材料厚度（2D）测量可获得精确定量的台阶高度、线粗糙度，曲率半径等薄膜几何参数。