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大连理工大学2022年11月政府采购意向-光刻机 详细情况
2022年11月17日 22:38 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 光刻机 |
| 预算金额： | 235.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 光刻机，1台。技术指标：最大晶圆尺寸：6英寸，分辨率：≤0.8m，正面套刻精度：≤ ±0.5m，背面套刻精度：≤ ±2.0m，光强均匀度：≤ ±3.0％，支持软接触、硬接触、接近和真空四种曝光模式。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。