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中国科学院微电子研究所2023年12月政府采购意向-晶圆级等离子体增强化学气相沉积设备 详细情况
2023年09月02日 23:15 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 晶圆级等离子体增强化学气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 晶圆级等离子体增强化学气相沉积设备 |
| 预算金额： | 3000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 新采购1台12英寸晶圆级等离子体增强化学气相沉积设备，适用12英寸晶圆中以硅、碳、氮/氧为主体的薄膜沉积研发，要求薄膜均一性小于3%；能够在1年内交付 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。