当前位置：采购意向项目详情
中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向-电子束光刻机 详细情况
2023年03月14日 16:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 1500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100399其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | "套刻精度： 在高精度模式下小于?20nm
拼接精度： 在高精度模式下小于?20nm
束流： 30pA至20nA
束斑： 在高精度模式下小于3nm
扫描时钟频率： 50MHZ
扫描区域： 150mm?150mm
扫描最小步长： 高精度模式下0.125nm
高速模式下1nm
写场尺寸： 高精度模式下62.5μm?62.5μm
高速模式下500μm?500μm
" |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。