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复旦大学2023年11月政府采购意向-分子层沉积1 详细情况
2023年10月23日 14:44 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 分子层沉积1 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 分子层沉积1 |
| 预算金额： | 260.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本项目拟采购1批分子层沉积设备，包括1套ICP等离子体分子层沉积设备主机、1套双腔反应腔、1套常温液源管路、3套加热源管路等。主要用于沉积氧化物、氮化物及金属薄膜，主要应用于半导体器件、OLED、玻璃强化、太阳能电池钝化层、微米纳米颗粒功能性包裹、银器的防氧化处理、高精度光学玻璃镀膜和锂电池等。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。