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中山大学2022年11至7月政府采购意向-离子束刻蚀设备气路升级 详细情况
2022年10月14日 16:27 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子束刻蚀设备气路升级 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 离子束刻蚀设备气路升级 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本项目拟采购的气路升级系统一套，主要用途：
物理学院于2018年11月购买安装一台等离子体刻蚀机，安装完成后，由于净化间环境及工艺气体尾气排放问题无法解决，设备一直未启用。为解决问题， 将设备充分运行起来， 需为特种气体建设特气气路以及尾气处理装置。
本项目拟采购的气路升级系统主要包括：混合气全自动特气柜、水洗废气处理柜、气体欠压报警多回路控制器等。 主要技术指标要求为：
1. 混合气全自动特气柜 6套，技术要求：
流量器控制精度：≤1%；气瓶架尺寸：气瓶架尺寸：不大于 W650宽×D500深×H1800高； 吹扫方式：自吹扫；工艺气体出口：1个，1/4"MVCR或1/4"卡套接口。
2. 水洗废气处理柜 1套， 技术要求：
循环水箱PH浓度实时值监测；预留扩充点；具有紧急切断功能,事故报警功能等；
3. 气体欠压报警多回路控制器 1套， 技术要求：
不少于8路检测报警；输入电压：220VAC，50HZ；箱体尺寸：不大于 W400*H300*D280
货物交付时间：应该在双方签订合同内3个月内发货。
交付地点要求：中山大学南校区。
售后服务要求（含培训）：免费保修时间为验收合格后不小于2年。质保期内，非人为损坏造成的损坏，厂家进行免费维修或更换。质保期外的维修，只收取材料费和运费，免收人工费、服务费等费用。产品出现故障可以在24小时内作出反馈。 |
| 预计采购时间： | 2023-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。