A032103电子工业专用生产设备

套刻精度量测仪 数量：1套 用途:设备主要应用在光刻工艺后的量测仪器，主要用于量测光刻工艺后与前层图形套刻偏差（Overlay Accuracy 简称Overlay或OVL）。 同时集成 CD（Critical Dimension 简称 CD）关键尺寸量测功能，测量 line、space、hole等。 技术要求：（列主要技术指标及安装部署要求）; 工艺名称 指标名称 技术参数及工艺要求 产品规格 *晶圆尺寸 支持8吋晶圆 *晶圆厚度 0.5mm～1mm *测试项 直线线宽测量 圆弧、圆孔、圆柱直径测量 斜线线宽测量 中心距测量 套刻精度检测 CD测试工艺 *最小线宽 ≥350nm *测试精度 ≤15nm *重复性 3σ≤15nm *再现性 3σ≤15nm 测试工艺 * Tool induced shift (TIS) Mean≤5nm *重复性 3σ≤5nm *再现性 3σ≤ 5nm 交付时间要求：6个月； 交付地点要求:指定地点； 售后服务要求（含培训）： 1,安装调试 供应商在合同签订后30天内以书面形式向买方提出安装场地环境要求，包括调试计划以及安装调试现场所需的水、电、气及辅料的等。在设备到达客户工厂，并收到买方通知后2天内，供应商安装调试人员到达现场进行安装、调试及试运行。整个安装调试过程不超过2周。 质保期1年，在质保期内，供应商需提供免费的7*24小时售后服务（包含免费人工服务和非耗材免费备件服务）。在质保期外，供应商需提供有偿的7*24小时售后服务，供应商有责任提供沟通渠道并提供有偿的定期维护保养服务。