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上海交通大学2023年2至3月政府采购意向-反应离子刻蚀机 详细情况
2023年02月21日 08:30 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 反应离子刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年2至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 反应离子刻蚀机 |
| 预算金额： | 230.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 该设备主要用于刻蚀石墨烯、六方氮化硼过渡金属硫族化物等二维材料，这是加工二维器件的一个必要步骤。该设备也可用于刻蚀其它材料，比如碳纳米管、石墨烯纳米带、氧化硅、硅等。工艺气体至少包含5路：O2, Ar, CF4，CHF3，SF6；RF射频电源功率不小于300W；可容纳的样品尺寸不小于4英寸；刻蚀均匀性≤±5%；可以实现氧化硅、氮化硅、石墨烯、六方氮化硼等材料的刻蚀。 |
| 预计采购时间： | 2023-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。