当前位置：采购意向项目详情
中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向-化学机械抛光系统 详细情况
2023年03月14日 16:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 化学机械抛光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 化学机械抛光系统 |
| 预算金额： | 1000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 化学机械抛光系统包括配套设备后清洗机主要用于对晶圆表面实现平坦化，在化学和机械作用过程的中完成材料表面抛光。关键指标：
1. 平坦化材料：硅、氧化物、金属等等；
2. 抛光头：兼容 4 寸， 6 寸， 8 寸；
3. CMP 后片内非均匀性 WIWNU 1sigma，去边 5mm：< 5%；" |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。