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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院氧化硅沉积机采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院氧化硅沉积机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院氧化硅沉积机采购项目 |
| 预算金额： | 1160.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 氧化硅沉积机， 数量：1套。
用途：该设备用于半导体器件应用，氧化硅或氮化硅等介质层的等离子体增强化学气相沉积；
技术要求：
1).氧化硅沉积：
沉积温度：80°C – 400°C
沉积速率：≥I,000 A/min
薄膜应力：≤200MPa (可调)
折射率：1~2
片内均匀性：≤2%
片间均匀性：≤2%
2). 氮化硅沉积：
沉积温度：80°C – 400°C
沉积速率：≥I,000 A/min
薄膜应力：≤200MPa (可调)
折射率：1~2
片内均匀性：≤2%
片间均匀性：≤2%
交付时间要求：合同签订后15个月内；
售后服务要求：在质保期内，24小时内电话响应，48小时内到达现场。包含装机服务，和对用户工程师提供针对设备原理、基本操作、日常保养和简单故障排除的现场培训。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。