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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院步进式光刻机采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院步进式光刻机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院步进式光刻机采购项目 |
| 预算金额： | 4300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 步进式光刻机，数量1套。 该设备用于微纳图形加工，主要技术指标：（1）曝光光源：KrF 248nm ；（2）最小特征尺寸≤180nm；（3）曝光范围≤25×33mm；（4）最大晶圆尺寸：8寸，兼容4、6寸；（5）对准精度≤40nm；（6）曝光均匀性：1.5%以内；（7）曝光能量≥350mW/cm2；（8）自动聚焦重复性：3σ≦ 80nm。售后服务要求：2年质保期，包含人工服务及故障处理所需备件(易损易耗件除外)。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。