A032103电子工业专用生产设备

自动涂胶显影机，数量1套。该设备用于光刻胶旋涂与显影，主要技术指标：（1）与光刻机的连接方式，inline；（2）由2个涂胶模组和2个显影模组组成；（3）最大晶圆尺寸8寸，兼容4、6寸；（4）涂胶模组：旋转速度的准确性±1rpm（0-6000rpm），加速度0-50000rpm/sec，转速精度±1rpm；（5）显影模组：显影液分发重复性150cc±5%，过滤器，≤0.1μm；流体温度控制22.0℃-26.0℃± 0.2℃，旋转速度的准确性±1rpm（0-5000rpm）；（6）LHP低温热板温度范围50℃-180℃，温度均匀性：±0.4℃（50~120℃），±0.8℃（120~150℃），±1.2℃（150~180℃）；CPL冷却热板温度范围20℃-30℃， 0.1℃递增；（7）含有增粘剂单元、抗反射层旋涂单元。售后服务要求：2年质保期，包含人工服务及故障处理所需备件(易损易耗件除外)。