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中国科学院微电子研究所2026年2至6月政府采购意向-12吋中束流离子注入机 详细情况
2026年01月23日 18:19 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 12吋中束流离子注入机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年2至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 12吋中束流离子注入机 |
| 预算金额： | 2312.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：12吋中束流离子注入机，该设备用于先进逻辑器件中用于Well注入、防穿通注入，Ground Plane注入等工艺，通过低电流密度与热注入相结合的方式，有效降低了轻掺杂工艺在阱区、亚鳍区等关键结构形成过程中引入的离子损伤。采购数量1台。 |
| 预计采购时间： | 2026-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。