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复旦大学2023年11月政府采购意向-离子注入系统 详细情况

2023年10月19日 10:47 来源: 中国政府采购网 打印

离子注入系统
项目所在采购意向: 复旦大学2023年11月政府采购意向
采购单位: 复旦大学
采购项目名称: 离子注入系统
预算金额: 1170.000000万元(人民币)
采购品目:
A02330300 电子工业生产设备
采购需求概况 :
拟采购一台离子注入系统,该设备系统为定制小型化离子注入系统 ,通过将特定类型的离子注入薄膜材料,实现元素掺杂及材料性质的精确调控。主要应用于薄膜材料表面处理,元素掺杂以及器件集成工艺,核心组成部分包括离子源,样品腔以及分析系统
预计采购时间: 2023-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。