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东南大学2025年1至3月政府采购意向-等离子体增 强化学气相 沉积镀膜机 详细情况
2025年01月06日 10:10 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体增 强化学气相 沉积镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增 强化学气相 沉积镀膜机 |
| 预算金额： | 380.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02102100教学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 机台采用正向下抽气，Plasma 流 场相比侧抽机台更均匀；
2. 拥有多种材料沉积解决方案，包 括 SiO2、SiNx、 α-C、 α-Si、 α-SiC、USG、BPSG；
3. 高均匀性Heater，为薄膜形成化 学键提供能量，二级匀气设计， 使得工艺气体在进入腔体时分 布的更均匀；可以保证均匀性（8 英寸极差 WiW＜2%，EE3）和较小 的 RI range（＜0.01）；
4. 高（13.56MHz）低（400kHz）频 Generator 设计，实现优填充以 及宽泛的应力调节窗口；可调 Gap 通过工艺参数可以调节热台 与匀气盘的距离，提供了均匀性 调节的一个关键参数，并支持高 沉积速率和清洗速率；
5. 远程离子源清洗，减少腔室内部 parts 损伤，获得较优的颗粒表 现以及较高的清洗效率； |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。