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哈尔滨工业大学2025年12月政府采购意向-离子注入异形薄膜生长系统 详细情况
2025年11月04日 10:41 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子注入异形薄膜生长系统 | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工业大学2025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 采购项目名称： | 离子注入异形薄膜生长系统 |
| 预算金额： | 160.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100503工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 预计采购一台离子注入异形薄膜生长系统，具体要求如下：
·极限真空度：≤1×10-6Torr
·系统真空检漏漏率：≤5.0×10-7 Pa.l/S
·停泵关机 12 小时后真空度：≤1Pa
·电流范围：15mA～20mA
·直径 150mm 半球内外膜异质膜层均匀沉积（不均匀度：＜8％） |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。