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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院快速退火炉采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院快速退火炉采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院快速退火炉采购项目 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 快速退火炉，数量：1套。 该设备用于对半导体样品进行快速升温和快速降温的加热设备，主要用于接触退火、快速热氮化、硅平滑、致密化和结晶化等。设备应用于半导体器件研发及生产等领域，用于硅及化合物半导体材料工艺过程中的缺陷消除、杂质激活、欧姆接触退火快速热处理等工艺场合。
技术要求：
1、 适用晶圆尺寸：8英寸、6英寸、4英寸晶圆及兼容小于4英寸以下小样品；
2、 温度范围：室温至1200℃可控；
3、 升温速率：不小于100℃/s（0~1100℃）；
4、 冷却方式：循环水冷却；
5、 工艺气体：配备H2、N2、Ar的独立MFC控制；H2相关安全措施配置到位，含量超5%后自动稀释后安全排出等安全保障措施；
6、 温度控制精度：±1℃；
7、 真空：0.1mbar至1000mbar可调；
8、 开机时间：开机到工艺真空所需时间小于10分钟。
售后服务要求:不少于2年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。