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中山大学2022年11至12月政府采购意向-测试中心 双束(离子束-电子束)+二次离子质谱仪（SIMS）联用仪+改造项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 测试中心 双束(离子束-电子束)+二次离子质谱仪（SIMS）联用仪+改造项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 测试中心 双束(离子束-电子束)+二次离子质谱仪（SIMS）联用仪+改造项目 |
| 预算金额： | 1064.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 双束(离子束-电子束)+二次离子质谱仪（SIMS）联用仪，数量：1套
设备用途：材料微观形貌观察、双束样品制备及质谱分析
交付时间：2023年；
交付地点要求：广州校区东校园
售后服务要求：2年整机保修，2次免费培训
技术要求:
电子枪：高亮度肖特基
电子束分辨率：
二次电子：≤0.7nm@15kV（In-Beam SE），≤1.0nm @1kV（减速模式）
背散射电子分辨率：≤2.0nm@30kV（In-Chamber BSE），≤1.6nm@15kV（In-Beam LE-BSE）离子光学：离子束镜筒：Cobra
分辨率： < 2.5 nm @ 30 kV (SEM-FIB的重合点)
双束为电子束和Ga离子源
单气体注射系统
能谱仪：电致冷，探头面积≥65 mm2
配备纳米机械手
W(或Pt) 气体沉积和 C 气体沉积，自动喷嘴定位，自动温度控制
二次离子质谱仪（SIMS）
包括 CTOF 分析，控制单元， TofDag 软件
检测器类型：直角型 ToF
质谱范围： 1-500m/z
质谱分辨率＞ 500m/Dm
检测极限≤4.2ppm
横向分辨率≤35nm
纵深分辨率≤20nm
具备元素面分布分析功能 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。