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清华大学2022年10至11月政府采购意向-高精度深硅刻蚀系统 详细情况
2022年10月07日 14:09 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高精度深硅刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 高精度深硅刻蚀系统 |
| 预算金额： | 1100.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购高精度深硅刻蚀系统1套，8”及以下Si、石英等刻蚀；片内/片间均匀性：3%。要求：质保期至少1年；售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日）。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。