当前位置：采购意向项目详情
中国科学院宁波材料技术与工程研究所2022年6月政府采购意向-微束定点离子刻蚀修复系统 详细情况
2022年04月29日 18:00 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 微束定点离子刻蚀修复系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所2022年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 采购项目名称： | 微束定点离子刻蚀修复系统 |
| 预算金额： | 364.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021112有线电测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 1、功能：定点制备无非晶层透射电镜样品。
2、配备二次电子探头，可实现加工的同时进行高分辨观察，具备纳米级分辨率。
3、加工离子能量范围需包括：50 eV ~ 2 keV。
4、离子束束斑尺寸：≤1 μm，可精确定位制备样品。
5、样品台倾转角度：-12度 ~ +30度，连续可调。
6、真空系统：无油机械泵+分子泵两级泵系统。
7、系统真空：≤5×10-7mbar。 |
| 预计采购时间： | 2022-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。