当前位置：采购意向项目详情
大连理工大学2022年11月政府采购意向-大尺寸磁控溅射表面处理仪器 详细情况
2022年11月17日 22:38 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 大尺寸磁控溅射表面处理仪器 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 大尺寸磁控溅射表面处理仪器 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02050910金属喷涂设备 |
| 采购需求概况 ： | 大尺寸磁控溅射表面处理仪器，1台，用于实现在最大200mm衬底上沉积金属和类金刚石薄膜，并可使用阳极层离子束技术、非平衡磁控溅射技术，阴极电弧技术进行单个模式或者联合沉积模式工作，以便制备出可满足广泛需求的功能薄膜，提升重大装备关键构件表面性能。设备主要技术指标：基片尺寸：50mm-200mm；基片成膜温度：100°C-800°C；磁控溅射靶枪个数：2支；阴极小圆弧电弧源：6套；脉冲型阳极层离子束：2套；单腔极限真空：6.0*10-4Pa；样品薄膜均匀度：±3%；直流、中频或脉冲电源，标准材料和磁性材料均可使用。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。