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上海交通大学2023年6至8月政府采购意向-离子强化化学镀膜设备 详细情况
2023年05月19日 16:19 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子强化化学镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年6至8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 离子强化化学镀膜设备 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备使用直流等离子发生器，并添加快速启停控制单元，可以在较窄时间窗口内精准控制设备的启停时间，实现纳米材料精确生长控制。主要技术指标：1.系统极限真空度： 10-4 Pa； 2.功率15-25 kW； 3.平板双电极，直径约15 cm，平板间距0-40 mm可调节； 4.最大支持4寸晶片； 5.样品温度1200 ℃； 6.搭配直流电源，最大电压需求1400 V； 7.配备5路及以上气路，包含氩气、氮气、氢气及含碳气体等。具体要求详见采购文件。 供货期：签订合同之日起，7个月内货到采购人指定地点，并在3周内完成安装、调试、验收。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。