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清华大学2023年10月政府采购意向-紫外光刻机 详细情况
2023年07月08日 12:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 紫外光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 紫外光刻机 |
| 预算金额： | 290.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 1.采购项目名称：紫光光刻机
2.采购项目数量：1台
3.紫外光刻机能够满足实验室规模微米制程加工中的曝光工艺，需要满足需求的曝光分辨率、光均匀性等；
4.仪器可靠，操作便捷，系统完善，软件免费升级服务。公司在国内有较强的技术支持和设备维修能力，响应迅速。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。