A02052402真空应用设备

多功能柔性电子材料真空互联薄膜制备集成系统，集成热蒸发、电子枪蒸镀、磁控溅射镀膜工艺，搭配无水无氧惰性气氛防护模块，实现多工艺一体化联动作业，满足实验室科研级薄膜制备、工艺研发及相关实验需求，保障制备效率与薄膜质量。 技术要求如下：1、热蒸发真空制备单元（4台）：底盘与真空腔体一体式设计，基片架可固定130mm×130mm及以下基片（带水冷），配备4组蒸发源（含防护）、工控机控制及2个水冷晶振传感器，不锈钢真空室（内部≥400mm×400mm×560mm），极限真空优于3.5×10？？pa，集成双工位惰性气氛保护系统；2、电子枪蒸镀真空制备单元（2台）：底盘一体式设计，基片架可固定6寸及以下基片（带水冷），配备2组舟源、6工位水冷电子枪及工控机控制，不锈钢真空室（内部≥500mm×500mm×600mm），极限真空优于5×10？？pa，集成多工位无水无氧环境控制系统；3、磁控溅射真空制备单元（2台）：底盘一体式设计，基片架可固定6寸及以下基片（带加热烘烤、升降功能），配备2个3英寸溅射靶、3路MFC控制器及双电源，不锈钢真空室（内部≥400mm×400mm×500mm），极限真空优于5×10？？pa，集成四工位手套箱系统。交货及售后服务要求：交货时间1个月，免费保修5年；整机（含核心、配套及进口部件）保修5年（自验收合格之日起算），不含耗材及易损件；供应商需配套提供常用关键备品备件并明确相关信息。质保期内维修免费（人为损坏除外），非易损件更换费用由供应商承担，48小时内技术人员到场；质保期外维护仅收成本费，配件备件可长期按成本价供应。施工保障措施：投标人须在项目所在地深圳市设立常驻售后服务机构或授权维修站（提供营业执照地址）。需要原厂技术工程师上门培训并共同拆箱验货，保证货物100%是正品行货，如序列号官网无法查询，供应商无条件退货并处以中标金额30%的罚金。