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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-超高真空原子层沉积 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超高真空原子层沉积 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 超高真空原子层沉积 |
| 预算金额： | 610.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
腔体尺寸：8英寸兼容；
加热控制：50℃-400℃；
工艺腔体极限真空：小于1×10-6 Torr；
氧化铝均匀性：<1%；
前驱体数目：4路液态或者固态反应前驱体，2组等离子体反应气体 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。