A033499其他专用仪器仪表

场发射扫描电子显微镜系统1套，包含电子显微镜，能谱仪和镀膜仪各壹台。主要功能：（1）电子束分辨率：高真空模式:≦ 0.5nm@15 kV ，≦ 0.9nm@1 kV （非样品台减速模式）,≦0.8nm@500V和1 kV ； 在工作距离WD≧10mm 测试电子束分辨率≦ 1.0nm@1 kV（现场验收），充分保证在远距离观测及分析时可以得到高分辨的信息。低真空模式：≦1.2nm @ 15kV，≦1.8nm @3kV。（2）高稳定性的肖特基场发射电子枪；（3）样品台X、Y方向移动范围不低于110mm；（4）复合末级透镜，是静电、无磁场和浸没式结合而成的物镜。（5）具有低真空模式，样品仓压力范围不低于10至500Pa。（6）能谱仪的探测器面积≧60mm2（7）镀膜仪的溅射电流至少0－150mA；镀膜终止：可按时间终止；可根据设定膜厚自动终止镀膜，实现镀膜厚度的精确控制。控制精度0.1nm，范围0-1000nm。卖方承诺在24小时内对用户的服务要求做出响应。如需现场解决问题，在5个工作日内到达仪器现场。交货日期在签订合同后5个月内。