当前位置：采购意向项目详情
复旦大学2025年6月政府采购意向-ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机 详细情况
2025年05月19日 14:10 来源： 中国政府采购网 【打印】
| ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2025年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02119900 其他电子和通信测量仪器 |
| 采购需求概况 ： | ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机是微纳加工核心设备，主要用于半导体、光电子等领域的精密刻蚀。利用化学反应实现材料的高精度去除，适用于硅、氮化镓、等多种材料以满足纳米级器件的加工需求，本项目依据科研需求计划采购一台ICP(电感耦合等离子体)刻蚀机。 |
| 预计采购时间： | 2025-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。