A02100405射线式分析仪器

扫描俄歇纳米探针， 数量：1套。 该设备是纳米级表面成分分析设备，分析深度为4-50埃，二次电子成像的空间分辨可达3纳米，成分分布像可达8纳米。可以提供材料纳米尺度的化学状态分析，进行化学态成像，用于分析固体材料表面纳米深度的元素（部分化学态）成分组成，可以对纳米级形貌进行观察和成分表征。 技术要求： 1.真空系统 （包括真空腔室和抽气系统）：分析腔室最佳真空度小于等于6.7×10-8 Pa 2.高分辨二次电子（SE）成像系统：肖特基场发射电子枪，与能量分析器同轴设计；能量范围：0.1-25 keV；最小束斑直径（SEI暗场分辨率）：3 nm @25kV, 1 nA 3.SEI图像漂移（图像匹配校准）：±5 nm，1 hour @ 1 nA, 20 kV； 4.二次电子图像放大倍率： 45× (3 kV) ~ 1000000× 5.俄歇电子能量分析器：同轴筒镜式能量分析器（CMA）和电子枪同轴设计；电子能量检测范围：30~2400 eV；能量分辨率：0.5%至0.1%连续可调 6.俄歇空间分辨率：8 nm @ 1 nA, 20 kV； 7.俄歇元素灵敏度（Cu LMM）（0.5%分析器能量分辨率）：70 kcps @ 1 nA, 10 kV；700 kcps @10 nA, 10 kV 8.样品观察和操控系统：全自动5轴样品台；提供多种型号的样品托；配有进样室相机 9.氩离子枪：能量范围0~5 kV（连续可调），溅射最大电流及电流密度大于10 μA @5kV，大于3 mA/cm2 @5 kV；离子枪荷电中和系统，电流大于10 nA @ 10 eV 10.EBSD (电子背散射衍射探测器)：可伸缩式探头，取向精度≤0.3°，最高标定速率≥190点/s 11.配样品惰性气氛传送装置、样品停放台和断裂附件 12. 配防震台、隔声罩和隔振器，配套易耗品配件（满足三年使用）、不间断电源 交付时间要求：2023年； 交付地点要求:广州校区东校园； 售后服务要求（含培训）：保修3年，免费培训2次。