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吉林大学2026年8月政府采购意向-磁控溅射机 详细情况
2026年07月13日 14:13 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 磁控溅射机 | |
| 项目所在采购意向： | 吉林大学2026年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 吉林大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射机 |
| 预算金额： | 135.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 磁控溅射机，1台。设备规格参数满足如下要求：1、可镀膜尺寸不小于6英寸；2、基片台系统可升降带加热温度不低于500℃；3、膜厚不均匀性 ≤±3%；4、直流溅射电源：功率500W，数量不少于2台；5、自动匹配射频电源：功率500W，数量不少于2台；6、偏压电源：功率500W，数量不少于1台；7、溅射靶材尺寸直径不小于3英寸，数量不少于4支；8、极限真空≤2E-5Pa。设备3个月内交货，提供上门安装调试服务，1年质保。 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。