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北京大学2026年6月政府采购意向-低温等离子体激活机 详细情况
2026年04月27日 16:28 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 低温等离子体激活机 | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | 低温等离子体激活机 |
| 预算金额： | 550.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 在室温下对单个基片的表面进行等离子激活，然后进行Si-Si，SOI，石英-石英等材料的基片预键合，
使得Si-Si键合和SOI键合基片在400度以下的短时间退火，就能够得到高强度的键合力。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。