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清华大学2023年10月政府采购意向-双面对准光刻机 详细情况
2023年07月08日 12:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 双面对准光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 双面对准光刻机 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100304光学测试仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.尺寸：8英寸兼容6英寸；
双面光刻;
2.具备接触式、接近模式。
3.光刻分辨率（Φ200mm，光刻胶厚度1微米时）：
≤ 1.0μm（真空接触）
≤ 1.5μm（硬接触）
≤ 2.5μm（软接触）
≤ 3.0μm（20μm接近式）
4.正面对准精度±0.5μm，背面对准精度±1μm； |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。