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中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向-快速退火炉 详细情况
2023年03月14日 16:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 快速退火炉 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 快速退火炉 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | "作为半导体器件制备工艺中核心步骤之一，快速退火炉是重要的设备，是制备半导体器件必须要有的工艺设备。用于电极制备，欧姆接触电极和重要半导体材料的后处理的核心工艺之一。。8英寸尺寸，快速升温从室温到1250度，升温速度30度每秒，温度均匀性 ≦600℃?3℃、>600℃?0.5%；温度重现性 ?1℃
；多个气体管道通道；可抽真空，单相底压: {5?10-2 Torr}，腔体压力控制范围：30mtorr ~ 100mtorr。" |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。