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山东大学2022年10至12月政府采购意向-电子束光刻机 详细情况
2022年10月18日 22:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 山东大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 山东大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 采购电子束光刻机1台。
设备主要规格参数：
1) 最小线宽：5 nm；
2) 直写速度：400 μm/s；
3) 套刻精度：＜8 nm；
4) 最大光刻区域：200μm ×200μm；
5) 针尖扫描头配置：可根据需求定制；
6) 扫描范围：10 μm×8 μm×5 μm；
7) 定位精度：0.01 nm；0.01 nm；0.01 nm；
8) 样品台配置：可定制；
9) 运动范围：16 mm×16 mm 可扩展至120 mm×120 mm；
10) 最大运动速度：20 mm/s；
11) 运动精度：8 nm；
12) 运动重复性：80 nm。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。