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华南理工大学2022年11月政府采购意向-光学芯片刻蚀系统 详细情况
2022年10月13日 08:17 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光学芯片刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 光学芯片刻蚀系统 |
| 预算金额： | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100399其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 主要参数：
1. 超声波清洗机，容量10L，超声频率：40KHz
2. 等离子清洗机，频率 13.56MHz，石英腔室尺寸 直径：74mm 深度：185mm
3. 匀胶旋涂机，基片尺寸5-150mm，转速精度 1RPM，胶均匀性 ±1%
4. 热板，室温-400℃，温控连续可调，加热板尺寸：200X200mm
5. 微量注射泵，通道数量2 ，最大行程140mm
6. 磁力搅拌器（加热），最大搅拌量（水）：5L，转速范围：100-1800转/分，台面加热温度：室温-400℃
7. 振荡器，运行方式：圆周，周转直径：4mm
8. 光刻机，采用激光直写技术，采用数字微镜技术（DMD）,无需物理掩膜版，最大可容纳基片尺寸：155mm x 155mm x 7mm，标准直写分辨率1.0 μm。
9. 纳米压印机，热压印温度高达200℃；UV纳米压印，365nm曝光；真空纳米压印（腔室可抽真空至0.1mbar），直径最大210mm（圆形）腔室
10. 扫描电镜，倍率 ×10～×100,000（照片倍率），图像信号 背散射电子，最大样品尺寸： 80 mm（直径） 50 mm（厚度）
11. 电子分析天平，可读性：0.1mg，称量范围：220g，称盘尺寸：φ91mm
12. 显微镜，多长工作距离平场物镜组合，多滤波片夬，载物台 双层活动平台 （尺寸：210mm×140mm，移动范围：75mm×50mm），白光LED。
13. 数显厚度表，测厚精度及范围：0.001mm，0-12mm。
14. 纯水机，水质在线监测，运行状态人性化显示，分质取水，一机两用功能 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。