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哈尔滨工程大学2022年9至12月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积 详细情况
2022年09月06日 19:13 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体增强化学气相沉积 | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工程大学2022年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 哈尔滨工程大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采用等离子体增强化学气相沉积可以生产高质量的均匀介质薄膜。PECVD 中的应力控制由可选的或者混合的高/低频等离子体源提供,通过调整工艺得到具有张应力，压应力或者低应力的沉积薄膜。 |
| 预计采购时间： | 2022-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。