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清华大学2023年10月政府采购意向-集成单片双面兆声清洗机 详细情况
2023年07月08日 12:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 集成单片双面兆声清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 集成单片双面兆声清洗机 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 兼容8英寸及以下晶圆，清洗后表面无0.1um及以上颗粒存在，晶圆载具在载片情况下，最大转速≥3000rpm，包含预清洗-双面刷洗-药液喷雾及浸泡漂洗-兆声喷淋及浸泡清洗-高速甩干-氮气吹扫红外烘干等模块 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。