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兰州大学2022年11月政府采购意向-材料与能源学院新材料与新能源实验教学平台建设项目-多靶位磁控溅射系统 详细情况
2022年10月17日 09:56 来源: 中国政府采购网 【打印】
材料与能源学院新材料与新能源实验教学平台建设项目-多靶位磁控溅射系统 | |
项目所在采购意向: | 兰州大学2022年11月政府采购意向 |
采购单位: | 兰州大学 |
采购项目名称: | 材料与能源学院新材料与新能源实验教学平台建设项目-多靶位磁控溅射系统 |
预算金额: | 38.000000万元(人民币) |
采购品目: | A02052402 |
采购需求概况 : | 采购名称:多靶位磁控溅射系统;采购数量:1套。主要用于薄膜的制备。系统包括溅射真空室、磁控溅射靶、旋转基片台、直流电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成。要求极限真空度≤6.0E-5Pa;片内膜厚均匀性≤±3%。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: | 白老师13609322747 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。