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北京理工大学2022年11至12月政府采购意向-原位纳米图案与量子信息器件综合加工设备 详细情况
2022年10月17日 13:59 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原位纳米图案与量子信息器件综合加工设备 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | 原位纳米图案与量子信息器件综合加工设备 |
| 预算金额： | 550.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 通过静电力激发电阻加热的针尖，实现垂直精度为 1nm的高速下针振动，可进行图形直写，扫描加工中使用带有加热针尖和热学表面形貌传感器的硅悬臂梁探针。垂直方向光刻精度为 2nm，水平方向光刻精度为 10nm，直写速度为 1000um2/min。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。