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中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向-深紫外曝光机 详细情况
2023年03月14日 16:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 深紫外曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 深紫外曝光机 |
| 预算金额： | 2000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100399其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 紫外光刻机是用于先进技术节点集成电路芯片制造的必要设备。通过紫外线光刻掩膜实现高精度、高分辨率的光刻胶曝光，要求最小线宽满足0.5μm工艺节点集成电路芯片制造需求。年度运行天数大于300天、时间大于2400小时。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。