A02062001-工业电热设备（电炉）

（一）采购标的名称：晶圆级原子层厚度沟道材料的规模化生长系统 （二）采购标的需实现的主要功能或者目标 该系统配备近耦合喷淋头，以达到均匀气流，提高反应效率，减少预反应，三区加热器，可分别控制温度，以便达到最好的表面均一性，反应室高度可在5mm-25mm范围内动态调节，配有晶圆表面温度监控及反射率监控系统，可配置多种金属-有机源，多通路输运，满足多种过渡族金属硫化物等二维材料8英寸晶圆的高质量制备。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款或者LC后12个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。