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中国科学院高能物理研究所2025年10月政府采购意向-超导金属磁控溅射、电阻金属磁控溅射 详细情况
2025年09月09日 08:59 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超导金属磁控溅射、电阻金属磁控溅射 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院高能物理研究所2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 采购项目名称： | 超导金属磁控溅射、电阻金属磁控溅射 |
| 预算金额： | 460.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02339900 |
| 采购需求概况 ： | 分别采购一台三腔室镀膜和双腔室镀膜机，其中三腔室镀膜机用于磁控溅射制备超导探测器的金属Nb和Al薄膜，主腔室8寸靶枪，6英寸不均匀度≤3%，loadlock腔带离子刻蚀以及静态氧化功能样品座具备无氧铜冷却功能，副腔室6英寸不均匀度≤5%；双腔室镀膜机用于电阻金属溅射沉积，loadlock腔带离子束刻蚀以及无氧铜冷却功能，镀膜4英寸不均匀度≤5%。 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。