A02100502非金属材料试验机

设备名称：化学气相沉积系统 数量：1套 用途：旨在更新改造混合集成芯片先导线的既有化学气相沉积系统，用于氧化硅和氮化硅绝缘薄膜沉积。 技术要求（仅列主要，详见采购文件）： 1. 升级改造主控计算机及控制软件 2. 配套高纯氧气等离子体清洗工艺气路，数量不少于1 套 3. 配套高纯氧气流量控制装置 4. 气流控制精度 ≤ 0.1 sccm 5. 配套氧气与硅烷自锁防护安全程序 交付时间要求：2025年10月15日之前 交付地点要求：广州市海珠区中山大学南校园557栋 售后服务要求（含培训）： 售后服务：供应商应提供设备出厂检验合格证明材料，提供设备相关使用说明文件。保修期内，凡属正常使用情况下，因产品质量问题引起的硬件故障，给予及时维修和技术咨询，4 小时响应，2 个工作日内上门服务或给出解决方案。保修期后的设备控制软件升级费用包含在本次报价内。 安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于15个工作日内完成。 培训要求：负责设备使用及安全操作规范培训。 具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。