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华中科技大学2025年4至11月政府采购意向-I线涂胶显影机 详细情况
2025年03月12日 16:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| I线涂胶显影机 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | I线涂胶显影机 |
| 预算金额： | 445.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
1、基片尺寸：ψ50mm～ψ200mm
2、Cassette 晶舟：2-4个晶舟
3、Coater Unit 涂胶单元:
(1)PR类型：正胶/ 负胶 ；(2)光刻胶喷头 2 ~ 4 个； (3)EBR ( Edge Bead Remover )；(4)马达旋转速度 Max. 6,000rpm；(5)高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
4、Robot Arm 机械手臂:3轴; X1, X2, X3
5、Hot Plate热盘单元:溫度50℃-180℃
6、Cooling Plate冷盘单元:溫度18-28℃
7、机台尺寸:D(1200+2410)× W1700 × H2300 (mm)
8、显影机基片尺寸
ψ50mm～ψ300mm
9、Developer 显影单元
(1)可应用喷头 Spray, Stream, E2 , H ；(2)马达旋转速度 Max. 5,000rpm |
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
