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吉林大学2026年8月政府采购意向-电子束蒸发系统 详细情况
2026年07月13日 14:13 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束蒸发系统 | |
| 项目所在采购意向： | 吉林大学2026年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 吉林大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发系统 |
| 预算金额： | 195.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 电子束蒸发系统，1套。设备规格参数满足如下要求：1、单批次可装载一个直径8英寸样品；2、极限真空优于3E-5Pa；3、蒸发源室保持高真空，工件盘室从大气抽到8E-4Pa时间少于30分钟；4、漏率优于7E-3Pa.L/s；5、工件台最高工艺温度不超过85℃；6、镀膜均匀性，直径8英寸范围内均匀性优于5%。7、镀膜重复性，直径8英寸范围内批次间重复性优于2%。设备3个月内交货，提供上门安装调试服务，1年质保。 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。