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东北大学2022年11月政府采购意向-面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--X-射线衍射仪 详细情况
2022年11月03日 10:50 来源: 中国政府采购网 【打印】
面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--X-射线衍射仪 | |
项目所在采购意向: | 东北大学2022年11月政府采购意向 |
采购单位: | 东北大学 |
采购项目名称: | 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--X-射线衍射仪 |
预算金额: | 320.000000万元(人民币) |
采购品目: | A021003光学仪器 |
采购需求概况 : | 主要功能:
1、粉末、薄膜、小块样品的晶型分析
2、薄膜样品的晶格参数、异质结构的应力和应变,位错密度的测量和分析,多晶薄膜的平行光掠入射物相分析及反射率分析等。
主要技术指标
1X射线发生器和机柜:
1.1 最大输出功率:4 kW
1.2 最大输出电压: 60kV
1.3 最大输出电流:100mA
2金属陶瓷X光管:
2.1 最大功率:1.8 kW (Cu靶)
2.2最大管压:50kV (Cu)
2.3最大管流:55mA (Cu)
2.4焦斑:12x0.4mm长细焦斑及点焦斑
3 测角仪:
3.1 扫描方式: ?/?方式,样品水平放置
3.2 角度重现性:<0.0002 度
3.3 最小可控步长:0.0001 度,可以停止在任何规定角度
3.4测角仪半径:240mm
3.5光学编码:直接光学定位(DOPS)
3.6马达驱动:直流马达
4.入射光路光学模块
所有光学模块和样品台均采用Pre-FIX预校准技术,切换模块无需重新校准。
4.1 BBHD高性能粉末衍射入射光路模块
入射光路高性能准单色光学模块,用于高质量粉末衍射,提供高强度K-alpha发散光,去除白光和K-beta,K-beta残留小于0.2%,能量分辨率450 eV,衍射图谱背景更低,衍射峰强度更高,对微量物相检测灵敏度更高。
4.2 平行光反射镜
多层膜人工抛物面晶体,将发散X光转化为高强度平行光束,耐空气腐蚀,无需封闭处理,可长期稳定使用。适用于铜靶辐射,用于多晶薄膜物相、纳米薄膜反射率等分析。
4.3 平行板准直器
衍射光路独立光学模块,取光角≤0.27度,用于多晶薄膜物相分析、织构分析等应用。
4.4 Hybrid混合单色器
入射光路独立光学模块,提供高强度K-alpha1单色平行光,最大直射强度≥4*10^8 cps,光束发散度≤26弧秒,用于氧化物等不完美外延体系薄膜高分辨衍射分析。
5. 样品台
5.1 标准平板样品台
5.2 五轴欧拉样品台 (Chi-Phi-X-Y-Z):
Phi轴范围360?,Chi轴范围96?。样品体积:直径80mm,高度16mm。
X轴:54mm,0.01mm; Y轴:54mm,0.01mm; Z轴:12mm,0.001mm; 载重500g
5.3 HTK16N原位高温样品台
奥地利安东帕公司HTK16N样品台,温度范围:室温-1600度;加热方式:直接加热(Pt)。样品台配有预校准接口,切换前后无需人工校准。样品台接口具有程控Z轴功能,可随温度变化自动调节样品台高度,确保样品上表面始终处于测量基准面,排除样品支架热膨胀高度漂移引起的衍射数据角度漂移。
6.探测器。
7.软件等,具体以采购文件为准。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。