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西安电子科技大学2025年12月政府采购意向-电子刻蚀系统 详细情况
2025年11月19日 18:06 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 电子刻蚀系统 |
| 预算金额： | 280.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100503 工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购 电子刻蚀系统1 台，用于开展纳米级图形化加工与材料微结构刻蚀实验。设备须具备稳定的高能电子束刻蚀能力，加速电压不低于 20–100 kV，刻蚀分辨率须达到 10 nm 或更优，刻蚀精度与重复性需满足微纳结构加工需求。
设备需符合国家及行业安全标准，具备完善的真空防护、辐射防护及联锁安全机制，操作软件需具备权限管理与自动保护功能。供应商须提供安装调试、技术培训、质保期内维修及备件保障，故障响应时间不超过 24 小时，确保设备在约定时限内交付、通过验收并投入正常使用。 |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。