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清华大学2022年12月政府采购意向-光刻机 详细情况
2022年11月30日 18:39 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 光刻机 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购光刻机1台，技术参数需求：
曝光波长：350-450nm；
曝光光强：≥55mw/cm@365nm；≥140mw/cm@405nm；
分辨率：≤0.8um（真空接触，光刻胶厚度1微米时，等间距图形测量）；
正面套刻精度：≤ ±0.25um；
背面套刻精度：≤ ±1.0um；
光强均匀度：≤ ±2.5％ |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。