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东南大学2022年10至12月政府采购意向-原子层沉积 详细情况
2022年10月20日 16:00 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积 |
| 预算金额： | 210.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 购置1台。
1.要求反应腔体可以用来沉积8英寸（200毫米）的衬底，兼容8英寸以下的衬底。
需要配置的4条管路均须配置独立的质量流量计（MFC）、压强传感器、脉冲阀，液态源与加热源分别配置独立的温度传感器。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。