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重庆大学2023年1月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀机(ICP) 详细情况

2022年12月02日 11:49 来源: 中国政府采购网 打印

感应耦合等离子体刻蚀机(ICP)
项目所在采购意向: 重庆大学2023年1月政府采购意向
采购单位: 重庆大学
采购项目名称: 感应耦合等离子体刻蚀机(ICP)
预算金额: 370.000000万元(人民币)
采购品目:
A032103电子工业专用生产设备
采购需求概况 :
未来芯片研究与试验测试平台采购感应耦合等离子体刻蚀机(ICP)1套。该设备采用感应耦合等离子体(ICP)方式产生高密度等离子体,实现对多种实现对多种化合物(如:SiO2、GaN、GaAs等)的选择性干法刻蚀。
预计采购时间: 2023-01
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。