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中国科学院上海光学精密机械研究所2024年10至12月政府采购意向-反应离子刻蚀设备 详细情况
2024年10月22日 08:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 反应离子刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海光学精密机械研究所2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 采购项目名称： | 反应离子刻蚀设备 |
| 预算金额： | 380.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02180600非金属矿物切削加工设备 |
| 采购需求概况 ： | 主要用于熔融石英材料的精细刻蚀，通过干法刻蚀的方式，实现所需的高精度结构图形的刻蚀。 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。